TIME
1、热阴极电离真空计：也被称为热阴极电离计或热规，主要用于测量较低真空度的环境，范围通常在10^2至10^5帕之间，这种真空计通过测量气体导电来确定真空度，具有结构简单、使用方便、价格低廉的优点，其测量精度较低，且受环境温湿度影响较大。
2、冷阴极真空计：包括磁控管真空计和磁压缩真空计等类型，这种真空计可以测量较高真空度，其测量范围从大约10^-2帕到更高的真空度，冷阴极真空计的优点是测量精度高，但其结构复杂，价格较高。
3、光电离真空计：也被称为光电真空计或光规，主要用于测量较高真空度的环境，其工作原理是通过测量气体分子在强紫外线下电离产生的光电流来确定真空度，这种真空计具有测量精度高、响应速度快的优点，但其价格较高，且需要定期校准。
至于真空计的测量范围，不同的真空计类型有不同的测量范围，热阴极电离真空计主要测量较低真空度的环境，而冷阴极真空计和光电离真空计则可以测量较高真空度的环境，具体的测量范围可能会因不同型号、不同制造商而有所差异，在选择和使用真空计时，需要根据实际需求和环境条件来选择合适的类型。
仅供参考，如需更多关于真空测量仪及其测量范围的信息，建议咨询真空技术专家或查阅相关文献资料。